KLOCKE NANOTECHNIK

Начиная с 1992 г., на основе изобретений Исследовательского центра г. Юлих, Доктор Клоке и его группа разработали нано мотор и серию робототехники в нано масштабе, включая электронику и программное обеспечение. Имея 15-летний опыт работы в сфере нанотехнологий, компания Klocke Nanotechnik производит и продает во всем мире робототехнику в нано масштабе, начиная от комплектующих и заканчивая готовыми приборами. Модульная система уникальной продукции позволяет формировать решения на основе имеющихся модулей, вместо разработки новых. Подобные конфигурации, как правило, более точные, чем существующие аналоги.

Серия нано робототехники предлагает управление, обработку материалов и измерения с нанометровым разрешением, как например:
• Устройства для электронных микроскопов, поддерживающие маленькие объекты или для исследований следующего поколения интегральных цепей.
• Универсальные испытательные стенды для конструкторских лабораторий, позволяющие разработку продукта, конструирование прототипа, измерения и контроль качества, выявление ошибок и их анализ – все это на базе одного устройства и с непревзойденной на сегодняшний день точностью.
• Микропроизводственное оборудование, включая микроадгезионное связывание, спроектированное для трехразмерного анализа и монтажа микро частей.

Одним из примеров системного решения является платформа“SEM-FIB Workbench”:
Инструментальная платформа “SEM-FIB Workbench”, разработанная Klocke Nanotechnik расширяет любой сканирующий электронный микроскоп и/или устройство Сфокусированного ионного луча до системы обработки материалов и аналитической платформы в сфере нано материалов. Основой платформы “SEMFIB Workbench” является инсталляция 1 - 6 нано робототехнических манипуляторов с разрешением в один нанометр в любую установку СЭМ и/или устройства Сфокусированный ионный луч. Легкая замена манипуляторов предполагает работу в воздушной среде, что позволяет экономить средства. Большое количество различных применений может быть реализовано благодаря добавлению следующих модулей:
• Трехразмерного профилометра и устройства измерения координат “Dimensional SEM/FIB”
• Встроенный в СЭМ модуль “NanoFab” для автоматической обработки
• СЭМ полупроводниковых пластин: наноанализ в полупроводниковой промышленности
• Трибологический СЭМ для тестирования с нагрузкой, измерения эластичности, надежности и трения
• Литографический СЭМ на основе наноробототехники.