Центр коллективного пользования "Наноэлектроника и нанотехнологические приборы"

ЦКП создан на базе проблемной научно-исследовательской лаборатории нитевидных нано- и микрокристаллов (ВГТУ), Регионального криогенного центра ВГТУ, совместной лаборатории физико-химического анализа, проектирования оборудования, приборно-технологического и компьютерного моделирования (ВГТУ и НИИПМ), лаборатории конструирования, изготовления и испытаний плазмохимических установок и установок синтеза фуллереносодержащих наноматериалов (НИИПМ), научной лаборатории промышленной информатики (ВГТУ), совместного центра обучения и переподготовки кадров (ВГТУ и НИИПМ).
ЦКП НЭНТП функционирует в рамках ОАО "Технопарк "Содружество".

Области исследований и научных направлениях деятельности
- Синтез нитевидных нанокристаллов кремния и создание на их базе наноэлектронных и нанотехнологических устройств.
- Структура и субструктура нанокластеров, наноразмерных пленочных гетеросистем.
- Создание измерительных приборов на основе нитевидных кристаллов кремния.

Оборудование
Аналитико-технологическое оборудование центра размещено на площадях Воронежского государственного технического университета (150 м2) и Научно-исследовательского института полупроводникового машиностроения (500 м2). Общая производственная площадь составляет 650 м2.
Вводимое в 2008-2009 гг. в эксплуатацию оборудование:
- Система 4200-SCS
- MWR-SIM
- SТ-1000
- TRM-100/1i
- RHTH
- Цветхром-60
- ДВ-1
- Универсальный СЗМ комплекс Интегра Прима
- ВМ-1
- СУР-01 "Реном"
- FINEPLACER "Lambda"
- BAK 501

ЦКП предоставляет следующие возможности для исследования
- синтез нитевидных нанокристаллов кремния и углеродных нанотрубок;
- проектирование, разработка и изготовление промышленных установок травления кремния и синтеза фуллеренов;
- моделирование свойств наноматериалов и приборно-технологическое конструирование наноэлектронных и нанотехнологических устройств;
- подготовка и переподготовка кадров, в том числе высшей квалификации.

Услуги
- реализация комплексных инновационных проектов в области создания наноэлектронных и нанотехнологических устройств на базе нитевидных нанокристаллов;
- разработка изделий наноэлектроники по полному циклу от идеи и спецификации до конечного изделия;
- выполнение высокоточных электрических, фотоэлектрических и наноструктурных исследований и измерений параметров полупроводниковых материалов и приборов

Методики измерений
- методики определения технологических параметров процесса синтеза нитевидных нанокристаллов;методики определения технологических параметров процесса синтеза углеродных нанотрубок;
- методика измерений и регистрации параметров на основе приборных комплектов INTEGRAL-SIMEAS 300;
- методики определения структуры, фазового состава, морфологии поверхностей, электронной структуры нанокристаллических материалов и приборных наноструктур;
- методики определения термоэлектрических параметров приборных структур на нитевидных кристаллах кремния;методики определения фотоэлектрических параметров приборных структур на нитевидных кристаллах кремния;
- методики определения адсорбционной способности углеродного нанокомпозита, содержащего нанотрубки

Контактная информация:
394026 г. Воронеж, Московский проспект, 14
Телефон: +(4732) 21-09-19
Факс: +(4732) 78-38-91
www.vorstu.ru