Проект «СуперФаб»

Научно-инструментальный производственный комплекс на основе источника синхротронного излучения и нанофаба НТК- 4 (проект «СуперФаб»)

Краткое описание: Проект «СуперФаб» - разработка кластерной нанотехнологической фабрики полного цикла со станцией синхротронного излучения. СуперФаб предназначен для создания изделий наноэлектроники, спинтроники, нанофотоники, наносенсоров, МЭМС и НЭМС, нанофлюидики и пр. СуперФаб представляет собой комплекс кластеров технологических модулей, связанных общей транспортной системой. Предусматривается наличие кластеров групповых и нанолокальных технологий, кластеров сборки и функционального контроля. В состав СуперФаба включена станция синхротронного излучения, позволяющая проводить расширенное тестирование наноструктур на разных стадиях изготовления и осуществлять рентгенолитографические операции, что обеспечивает СуперФабу полный цикл нанотехнологического производства.

Научная значимость: СуперФаб предназначен для отработки нанотехнологических процессов и создания новых наноустройств и наносистем. Наличие полного цикла нанотехнологических операций, кластерная структура, развитая транспортная система и широкий набор средств измерений и функционального контроля позволяет значительно снизить стоимость и ускорить время разработки новых наноизделий, поскольку эти изделия могут быть совершенно разнотипными и находиться на разных стадиях разработок и изготовления. Весьма существенно, что использовать СуперФаб могут практически одновременно несколько научных коллективов, занимающихся разной тематикой.

Конкурентные преимущества: Продукт абсолютно уникален в России и в мире.

Примеры практического применения в отраслях РФ: Предназначен для разработки и мелкосерийного производства сверхмалых электронных и МЭМС устройств для самых разных отраслей народного хозяйства (прежде всего – спецтехника).

Стадия разработки: Отдельные модули уже производятся мелкими сериями, часть модулей существует в виде прототипов.