Центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур»

ГОУ ВПО «Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова»
УРАН «Физико-технологический институт РАН»

ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ НАУЧНЫМ ОБОРУДОВАНИЕМ «ДИАГНОСТИКА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР»

Общие сведения о ЦКП
Центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур» (ЦКП ДМНС) создан при Ярославском госуниверситете 1 ноября 2006 г., приказ № 382, решение Ученого совета ЯрГУ от 24.10.2006 г.

C 07.11.2007 г. ЦКП ДМНС - интегрированное структурное подразделение ЯрГУ и ФТИАН.

С июня 2008 г. Центр участвует в мероприятиях Федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы».

Центр расположен на площади ~ 800 м2, общая численность персонала – 49 человек, в том числе: докторов 12, кандидатов наук 14, аспирантов 4, студентов 12.
Объем научно-исследовательских работ за: 2008-2009 г.г.–122 млн. руб., 2010 г. – 36,1 млн. руб. Балансовая стоимость оборудования – 365 млн. руб.

Адрес ЦКП:
150000. Ярославль, ул. Советская 14, к. 220
Интернет-сайт: www.nano.yar.ru
e-mail: nano@yar.ru

Директор ЦКП:
директор ФТИАН, академик РАН А.А.Орликовский (на фото)
тел.: (499) 125-38-26,
факс: (499) 125-38-26,
электронный адрес orlikovsky@ftian.ru

Заместитель директора ЦКП: зав. кафедрой микроэлектроники ЯрГУ профессор А.С.Рудый
тел.: (4852) 79-77-74,
факс: (4852) 797751,
электронный адрес rudy@uniyar.ac.ru

Области и основные направления научных исследований
Комплексные исследования в области микро- и наноэлектроники. Разработка физических, технологических и метрологических основ создания критических элементов структур интегральных приборов наноэлектроники. Методы диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов. Разработка нанокомпозитных и наноструктурированных материалов для солнечной энергетики и химических источников тока.

Методики
Вторичная ионная масс-спектрометрия:
- послойный физико-химический анализ конструкционных материалов и деталей;
- послойный анализ функциональных элементов интегральных микросхем;
- послойный анализа сверхрешеток;
- контроль дозы легирующих примесей в полупроводниках и структурах на их основе;
- физико-химический анализ микрочастиц с размерами менее 0,1 мкм
- трехмерный анализа распределения элементов;
- исследования примесей и дефектов в кристаллах и минералах;
- физико-химический анализ биоорганических нанообъектов;
- количественный микроанализ для геологии и экологии.
Сканирующая электронная микроскопия:
- исследование морфологии и дефектоскопия конструкционных материалов и деталей;
- исследование наночастиц и наноматериалов;
- исследование и диагностика приборов микро- и наноэлектроники;
- исследование биологических нанообъектов;
- исследование материалов химической промышленности.
Сканирующая зондовая микроскопия и профилометрия:
- исследование топографии поверхности конструкционных материалов;
- исследование морфологии поверхности полимерных и органических материалов;
- исследование поверхности материалов и приборов микро- и наноэлектроники;
- исследование биомакромолекул и живых клеток.
- диагностика образцов в 3D-нанозондовой системе субатомарного разрешения;
- электрофизические измерения структур микро- и наноэлектроники в 3D-нанозондовой системе субатомарного разрешения;
- нанолитографии в 3D-нанозондовай системе субатомарного разрешения;
- спектроскопические исследования структур микро- и наноэлектроники в 3D-нанозондовой системе субатомарного разрешения.
Рентгеноструктурный анализ:
- определение одной или нескольких фаз в неизвестной пробе;
- количественное определение известных фаз в смеси;
- определение структуры кристаллов и параметров элементарной ячейки;
- анализ поведения вещества в различных газовых средах, если структура кристаллов изменяется при изменении температуры, давления или газовой фазы;
- анализ поверхности и тонких пленок;
- анализ текстуры, возникающей в условиях прокатки, волочения
Просвечивающая электронная микроскопия:
- контроль продуктов современных литографических технологий;
- исследование микро- и нанорельефа поверхности образца и получение стереоизображения топографии поверхности;
- анализ распределения химических элементов в объекте (на основе рентгеноспектрального анализа);
- исследование точечных и линейных дефектов материалов – вакансий и дислокаций;
- анализ распределения потенциалов в сложных микроизделиях (вольтов контраст);
- исследование распределения магнитных полей в образце (магнитный контраст);
- метрология микроизделий.
Оже-спектроскопия
- сканирующая электронная микроскопия;
- оже-электронная спектроскопия;
- сканирующая электронная микроскопия и оже-электронная спектроскопия.
Фотовольтаика
измерение и анализ световых и темновых вольтамперных характеристик солнечных элементов.

Оказываемые услуги 

• Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторских разработки в области микро- и наноэлектроники.
• Диагностика микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов.
• Заказной анализ широкого класса объектов методами:
• вторичной ионной масс-спектрометрии (IMS-4F);
• времяпролетной ионной масс-спектрометрии (IONTOF SIMS5);
• электронной сканирующей микроскопии (Supra 40);
• просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
• зондовой микроскопии (СММ 2000);
• обратного резерфордовского рассеяния (К2МV);
• оже-спектроскопии (PHI-660);
• ИК фурье-спектроскопии (IFS 113-v);
• рентгеноструктурного анализа (ARL X'tra);
• Научно-образовательные услуги:
• повышение квалификации и подготовка операторов аналитического и технологического оборудования микро- и наноэлектроники;
• поддержка спецкурсов отдельных образовательных программ;
• экспериментальная поддержка курсовых работ, дипломных проектов, кандидатских и докторских диссертаций.

Организации-пользователи
ГОУ ВПО «Московский государственный университет им. М.В.Ломоносова»
ГОУ ВПО «Ярославский государственный технический университет»
ГОУ ВПО «Ярославская государственная медицинская академия»
ГОУ ВПО «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П.А.Соловьева»
УРАН «Институт геологии и геохронологии докембрия РАН»
ОАО «Алроса» (Якутия)
НП "Лаборатория анализа микрочастиц" (Москва)
НПО «Сатурн» (Рыбинск)
ООО "Высокие технологии" (Москва)
ООО "НПО "Ликом" (Ярославль)
ЧП Горовой Ю.М. (Ярославль)
ООО «ЭТИЗ-АКТИВ» (Ярославль)
ООО ТД «РЕАЛ СОРБ» (Ярославль)

Оборудование

1. Времяпролетный масс-спектрометр IONTOF SIMS5 (ION-TOF GmbH, ФРГ) – 2007 г. выпуска, стоимость 57 000 000 руб.
2. Вторичный ионный масс-спектрометр IMS-4F (CAMECA, Франция) – 1986 г. выпуска, стоимость 6 417 200 руб.
3. Просвечивающий электронный микроскоп Tecnai G2 F20 U-TWIN (FEI, Нидерланды) – 2009 г. выпуска, стоимость 74 000 000 руб.
4. Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп с комплексом диагностики наноструктур Supra 40 (Carl Zeiss, ФРГ) с приставкой INCAx-act (Qxford Instruments) - 2008 г. выпуска, стоимость 15 000 000 руб.
5. Растровый электронный микроскоп в комплекте с рентгеновским спектрометром Ultra 55 (Leo Supra) (Zeiss, Германия) – 2006 г. выпуска, стоимость 39 714 559,86 руб.
6. Микроскоп электронный LEO 430 SEM (Carl Zeiss, Германия - Великобритания) – 1992 г. выпуска, стоимость 8 352 558,72 руб.
7. 3D-нанозондовая система «GPI- Cryo-SEM» - сканирующий туннельный микроскоп на базе вакуумной системы СЭМ Supra 40 с системой пробоподготовки (Протон-МИЭТ) – 2009 г. выпуска, стоимость 21 000 000 руб.
8. Класс мультимикроскопов CM-2000 и профилометров модели 130 (ЗАО «Протон-МИЭТ», Россия) – 2008 г. выпуска, стоимость 7 528 400 руб.
9. Спектрометр Оже PHI-660 (Perkin-Elmer, США) – 1987 г. выпуска, стоимость 3 635 861 руб.
10. Спектрометр ИК Фурье IFS-113v (Bruker, Германия) – 1988 г. выпуска, стоимость 7 671 238 руб.
11. Измерительный комплекс Oriel I-V (Newport, США) – 2009 г. выпуска, стоимость 4 500 000 руб.
12. Трехмерный оптический бесконтактный анализатор структуры поверхности с системой высокоточного позиционирования образцов ZYGO New View (ZYGO, США) – 2005 г. выпуска, стоимость 13 596 498,4 руб.
13. Рентгеновский дифрактометр ARL X'tra (Thermo Fisher Scientific, Швейцария) – 2010 г. выпуска, стоимость 9 600 000 руб.
14. Калориметр дифференциальный сканирующий DSC 204/1/G Phoenix (MAVEG, Германия) – 2002 г. выпуска, стоимость 6 400 199,52 руб.
15. Установка ионной имплантации с системой RBS анализа K2MV (НVЕЕ, Нидерланды) – 1989 г. выпуска, стоимость 83 110 244,76 руб.
16. Электронно-литографический комплекс RAITH 150D (Raith, Германия) – 2006 г. выпуска, стоимость 47 154 723 руб.
17. Установка плазмохимического осаждения MINI GOUPYL (Alcatel, Франция) – 1989 г. выпуска, стоимость 4 628 877 руб.

Информация предоставлена ЦКП ДМНС