ФГУП «ВНИИ оптико-физических измерений»

Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ), профильная организация по направлениям «Наноэлектроника», «Нанобиотехнологии», «Конструкционные наноматериалы»

Директор института
Иванов Вячеслав Семенович

Контактная информация
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, 46
тел.: +7 (495) 437-56-33
факс: +7 (495) 437-31-47
pochta@vniiofi.ru
http://www.vniiofi.ru/

Ответственный за связи с общественностью
Булыгин Фёдор Владиленович
Лясковский Владимир Леонидович

Направление исследований в сфере нанотехнологий и наноматериалов
Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии

Разрабатываемые нанотехнологии/наноматериалы, их характеристика
Методы измерений оптико-физических параметров в нанодиапазоне; применение - меры геометрических параметров наноструктур и наночастиц

Используемые нанотехнологии/наноматериалы
Ионное и электронная литография, коллоидный синтез (геометрические размеры от 10 нм); применение - создание мер и стандартных образцов

Используемое в разработках оборудование
Электронные микроскопы фирмы Zeiss, зондовые микроскоп Veeco Innova

Ведомственная принадлежность: Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии

Предоставленные материалы
ЦКП ФГУП ВНИИО