Кантилевер

Кантилевер (англ. Cantilever) — устоявшееся название наиболее распространенной в сканирующей атомно-силовой микроскопии конструкции микромеханического зонда. Кантилевер представляет собой массивное прямоугольное основание, размерами примерно 1,5×3,5×0,5 мм, с выступающей из него балкой (собственно кантилевером), шириной порядка 0,03 мм и длиной от 0,1 до 0,5 мм. Одна из сторон балки является зеркальной (иногда для усиления отраженного лазерного сигнала на нее напыляют тонкий слой алюминия), что позволяет использовать оптическую систему контроля изгиба кантилевера. На противоположной стороне балки на свободном конце находится игла, взаимодействующая с измеряемым образцом. Форма иглы может значительно изменяться в зависимости от способа изготовления. Радиус острия иглы промышленных кантилеверов находится в пределах 5—90 нм, лабораторных — от 1нм. Как правило, вся конструкция, за исключением, быть может, иглы, является кремниевым монокристаллом. Также кантилеверы изготавливают из нитрида кремния (Si3N4) или полимеров. Процесс производства схож с производством кремниевого электронного оборудования, и включает сухое либо жидкофазное вытравливание подложки.

 Кантилевер АСК (увеличение 1000)

Тезаурус

Кантилевер (Cantilever)

Тематический раздел (поле): Метрология и стандартизация, Наноэлектроника, Наноинженерия, Функциональные наноматериалы, Конструкционные наноматериалы, Композиционные наноматериалы

Функциональный разряд: Объект

Аскрипторы: Кантилевер, кронштейн, консоль, микромеханический зонд

Отношения иерархические (род-вид): Кантилевер → Сканирующий атомно-силовой микроскоп → Методы диагностики наноструктур и наноматериалов → Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем

Отношения ассоциативные: Кантилевер ~ Игла, Микроскоп, Кронштейн, Консоль, Зонд, Монокристалл

Литература по теме

1. Миронов В.Л.. Основы сканирующей зондовой микроскопии. 2004. Мир
2. Madou, Marc J (2002). Fundamentals of Microfabrication. Taylor & Francis. ISBN 0-8493-0826-7
3. Sarid, Dror (1994). Scanning Force Microscopy. Oxford University Press