Электронно-зондовый микроанализ

Электронно-зондовый микроанализ (англ. Electron probe microanalyser) – метод, использующий электронные или рентгеновские лучи для наблюдения за твердой поверхностью и для количественного анализа составляющих элементов. Относится к методам химического микроанализа при изготовлении микро- и наноэлектромеханических систем. Химическими веществами, присутствие которых необходимо контролировать при таких исследованиях, являются легирующие примеси в кремнии (мышьяк, фосфор, бор, сурьма), а также кислород, углерод, следы резиста, различные компоненты металлизации и металлические примеси. Спектр контролируемых химических элементов очень широк: от легких до тяжелых. Традиционно различают два основных метода химического микроанализа: растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Растровый электронный микроскоп позволяет получать информацию о химическом составе вещества при условии использования приставки для рентгеновской спектрометрии. Растровый микроскоп, специально приспособленный для количественного химического анализа, называют электронным зондом и применяют в рентгеновском микроанализе. Растровый микроскоп можно использовать для возбуждения вторичного рентгеновского излучения при облучении поверхности образца электронным лучом. Электронная бомбардировка позволяет получить как непрерывный рентгеновский спектр, так и характеристические линии, свойственные конкретным материалам исследуемых мишеней – образцов. Для проведения рентгеновского микроанализа применяются как энергодисперсионные детекторы, так и детекторы, анализирующие распределение регистрируемого излучения по длине волны. Анализ распределения по длинам волн осуществляется кристаллом-анализатором, на который направляется вторичное рентгеновское излучение. Анализатор поворачивают относительно падающего рентгеновского пучка до достижения максимальной интенсивности брэгговского отражения. Результирующий сигнал детектируется газовым пропорциональным счетчиком квантов.

Тезаурус

Электронно-зондовый микроанализ (Electron probe microanalyser)

Тематический раздел (поле):  Наноэлектроника, Метрология и стандартизация, Наноинженерия, Наноматериалы. Нанотехнологии ТЭК, Наноэнергетика

Функциональный разряд:  Действие/Технология

Аскрипторы:  Химический микроанализ

Отношения иерархические (род-вид):  Электронно-зондовый микроанализ → Методы диагностики наноструктур и наноматериалов → Получение, диагностика и сертифицирование наноразмерных систем

Отношения ассоциативные:  Электронно-зондовый микроанализ ~ Количественный анализ, Химический микроанализ, Растровая электронная микроскопия, Рентгеновский микроанализ

Литература по теме:

1. Wittry, David B. (1958). "Electron Probe Microanalyzer", US Patent No 2916621, Washington, DC: U.S. Patent and Trademark Office.
2. Jansen, W.; Slaughter, M. (1982), "Elemental mapping of minerals by electron microprobe" (free full text), American Mineralogist 67 (5-6): 521–533.
3. Zhang, X. & Briggs, D.E.G. (2007). "The nature and significance of the appendages of Opabinia from the Middle Cambrian Burgess Shale". Lethaia 40 (2): 161–173.
4. Мальцев П. П., и др. «Нанотехнологии. Наноматериалы. Наносистемная техника», Москва, изд. Техносфера, 2008 г., 430 с.