Жидкофазная эпитаксия

Жидкофазная эпитаксия (англ. Liquid phase epitaxy) в основном применяется для получения многослойных полупроводниковых соединений, таких как GaAs, CdSnP2. Готовится шихта из вещества наращиваемого слоя, легирующей примеси (может быть подана и в виде газа) и металла-растворителя, имеющего низкую температуру плавления и хорошо растворяющий материал подложки (Ga, Sn, Pb). Процесс проводят в атмосфере азота и водорода (для восстановления оксидных плёнок на поверхности подложек и расплава) или в вакууме (предварительно восстановив оксидные плёнки). Расплав наносится на поверхность подложки, частично растворяя её, и удаляя загрязнения и дефекты. После выдержки при максимальной температуре ≈ 1000°С начинается медленное охлаждение. Избытки полупроводника осаждаются на подложку, играющую роль затравки. Существуют три типа контейнеров для проведения эпитаксии из жидкой фазы: вращающийся (качающийся), пенального типа, шиберного типа.

Тезаурус 

Жидкофазная эпитаксия (Liquid phase epitaxy)

Тематический раздел (поле):  Наноэлектроника; Наноинженерия; Метрология и стандартизация; Функциональные материалы

Функциональный разряд:  Действие (операция)

Аскрипторы:  Гомоэпитаксия, гетероэпитаксия, эндотаксия, молекулярно-лучевая эпитаксия, газофазная эпитаксия

Отношения иерархические (род-вид):  Жидкофазная эпитаксия → Эпитаксия → Методы осаждения слоев нанометровых толщин → Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов → Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем → Нанотехнологии

Отношения ассоциативные:  Эпитаксия ~ Нанотехнология; Монокристаллическая пленка; Кремниевая подложка; кристалл; Эпитаксиальный слой; Полупроводниковый слой; Многослойные гетероструктуры; Лазерные микроустройства; СВЧ– микроустройства

Литература по теме:

1. Палатник Л. С, Папиров И. И., Ориентированная кристаллизация, М., 1964; их же, Эпитаксиальные пленки, М., 1971; Современная кристаллография, т. 3, М., 1980
2. A. Polman et. al., J. Appl. Phys., Vol. 75, No. 6, 15 March 1994
3. S. Mirabella et. al., Appl. Phys. Lett. 86, 2005
4. Jaeger, Richard C. (2002). "Film Deposition". Introduction to Microelectronic Fabrication. Upper Saddle River: Prentice Hall
5. Статья Жидкофазная эпитаксия  из Википедии, свободной энциклопедии. Доступно под лицензией Creative Commons Attribution-Share Alike