Масс-спектрометрия вторичных ионов

Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) (англ. Secondary ion mass spectrometry) – метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений в масс-спектрометрии. Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ, однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации органических веществ. Используется для анализа состава твёрдых поверхностей и тонких плёнок. МСВИ - самая чувствительная из техник анализа поверхностей, способная обнаружить присутствие элемента в диапазоне 1 часть на миллиард. Проба облучается сфокусированным пучком первичных ионов (например Xe+, Cs+, Ga+) с энергией от 100 эВ до нескольких kэВ (большая энергия используется в методе FAB). Образующийся в результате пучок вторичных ионов анализируется с помощью масс-спектрометра для определения элементного, изотопного или молекулярного состава поверхности. Выход вторичных ионов составляет 0,1-0,01 %. Метод МСВИ требует создания условий высокого вакуума. Это необходимо, чтобы гарантировать, что вторичные ионы не сталкиваются с молекулами окружающего газа на их пути к датчику, а также для предотвращения поверхностного загрязнения частицами окружающего газа во время измерения. Классический анализатор на основе МСВИ включает в себя

1) первичную ионную пушку, производящую первичный ионный пучок,

2) коллиматор первичных ионов, ускоряющий и сосредотачивающий луч на образце (в некоторых устройствах с возможностью отделить первичные ионы специальным фильтром или создать пульсацию луча),

3) высоковакуумную камеру, содержащую образец и ионную линзу для извлечения вторичных ионов,

4) массовый анализатор, отделяющий ионы согласно их отношению заряда к массе,

5) устройства детектирования ионов.

Масс-спектрометр вторичных ионов CAMECA IMS3f Magnetic

Тезаурус

Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) (Secondary ion mass spectrometry)

Тематический раздел (поле):  Нанобиотехнологии, Метрология и стандартизация, Наноматериалы, Наноэлектроника

Функциональный разряд:  Технология

Аскрипторы:  Масс-спектрометрия

Отношения иерархические (род-вид):  Масс-спектрометрия вторичных ионов → Масс-спектрометрия→ Методы диагностики наноструктур и наноматериалов → Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем  

Отношения ассоциативные:  Масс-спектрометрия вторичных ионов ~ Ион, Низколетучие вещества, Полярные соединения, Вторичные ионы, Масс-спектрометр, Ионная пушка, Детекторы ионов

Литература по теме

1. Статья Масс-спектрометрия вторичных ионов  из Википедии, свободной энциклопедии. Доступно под лицензией Creative Commons Attribution-Share Alike